如今新的《大氣污染防治法》、《大氣污染防治行動(dòng)計(jì)劃》、《揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)污染防治技術(shù)政策》等法規(guī)的陸續(xù)頒布，我國(guó)對(duì)VOCs處理標(biāo)準(zhǔn)和力度逐步增強(qiáng)。剝離液、稀釋液等其造成的有機(jī)廢氣具有大風(fēng)量、低濃度芯片制造業(yè)因?yàn)榇罅坎捎糜袡C(jī)溶液作為清洗劑、光刻膠等特點(diǎn)。

　　為了更好地有效地處理此類VOCs廢氣，沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮法成為了行之有效的優(yōu)選處理方案。沸石轉(zhuǎn)輪采用沸石分子篩作為吸附劑，具有耐高溫、較高機(jī)械強(qiáng)度等性能，可以滿足連續(xù)吸咐、脫附的需求。針對(duì)不同的VOCs成份，應(yīng)有目的性地選用吸附效率高的沸石分子篩作為吸附劑，才能達(dá)到理想的、高效的VOCs處理效果。

　　因此，文中以芯片廠為調(diào)查樣本，研究其VOCs廢氣成份，為其沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)的沸石分子篩選擇提供值得借鑒的方案和建議。現(xiàn)階段芯片制造業(yè)涉及揮發(fā)性有機(jī)物包括：異丙醇、丙酮、二甘醇胺、二甲基乙酰胺、丙二醇單甲醚乙酸酯(PMG)、乙二酸、醋酸等。

　　研究人員對(duì)沸石吸附劑對(duì)芯片制造業(yè)有機(jī)廢氣的吸附等溫線研究結(jié)果顯示：沸石分子篩對(duì)該行業(yè)有機(jī)廢氣具有較高的吸附容量和吸附效率，屬于有利的吸附等溫線。此外，沸石分子篩還具有耐高溫、機(jī)械強(qiáng)度高等性能，在處理VOCs廢氣方面具有較高的綜合性能。其中，異丙醇是芯片生產(chǎn)制造過(guò)程中最常用的清洗劑；PMG是稀釋劑、光刻膠等物質(zhì)的主要成分。兩者的年消耗量巨大，僅上海某芯片工廠，這2種物質(zhì)的年用量以百噸計(jì)，是其VOCs有機(jī)廢氣中的主要污染物。
　　廣東天清佳遠(yuǎn)環(huán)境科技有限公司生產(chǎn)的沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒裝置吸附選擇性強(qiáng)，運(yùn)行成本低，使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)成本低，吸附脫附可連續(xù)運(yùn)行，脫附達(dá)到能循環(huán)狀態(tài)節(jié)約能耗等優(yōu)點(diǎn)。預(yù)處理過(guò)濾效率大于99%，凈化效率高于95%，整個(gè)裝置采用模組化設(shè)計(jì)，滿足了小空間的需求，且提供持續(xù)及無(wú)人化的操控模式。搭載了天清佳遠(yuǎn)云服務(wù)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程監(jiān)控設(shè)備的運(yùn)行狀況，采集并記錄設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)，有專業(yè)人員對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，共享給用戶，讓用戶隨時(shí)了解設(shè)備運(yùn)行狀況，并提出合理的運(yùn)行建議，必要時(shí)主動(dòng)迅速的為用戶提供服務(wù)，及時(shí)為客戶解決問(wèn)題。