半導體作為一個高科技產(chǎn)業(yè)，往往被誤解為“清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實上，半導體生產(chǎn)過程中使用了大量的有機和無機物質(zhì)，包括許多有毒有害物質(zhì)，這些物質(zhì)對環(huán)境具有一定的影響。

半導體生產(chǎn)可以分為晶體材料生產(chǎn)、晶片制造和器件組裝三個階段，其中污染最為嚴重的主要是晶片制造階段，有機廢氣的產(chǎn)生便來源于這一階段的光刻、顯影、刻蝕及擴散等工藝。

半導體生產(chǎn)制造過程中產(chǎn)生的VOCs污染物成分復雜，主要有各類烷烴、烯炔烴類、芳族化合物以及酮、醚類等，具有風量大和濃度低的特點。我國已成為半導體產(chǎn)業(yè)大戶，且各地制定了相應的排放標準。

天清佳遠在VOCs領域有著豐富的治理經(jīng)驗，在半導體有機廢氣治理行業(yè)有所建樹，做過不少成功案例。多年來，可迪爾堅持用專業(yè)的技術為業(yè)主設計合適的治理工藝，全面解決生產(chǎn)中所面臨的污染超標問題，保障正常生產(chǎn)。今天，小編帶大家一起去看看有關半導體行業(yè)有機廢氣治理的部分項目案例。